百级无尘车间的装修标准以及设计参数

百级无尘车间设计装修的标准的A级就是每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下。

　　当前，在芯片生产加工上的无尘标准的要求就是要高于A级的，像这样的高的要求标准主要是被应用在在一些等级较高芯片生产上，而业内称之为的1K级别的就是微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。

　　百级无尘车间设计参数

　　温度：22℃±2;湿度：55%±5;基本需要满布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系统。

　　还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。

　　百级无尘车间若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上，

　　百级无尘车间若是以层流风速来说的话>0.35m/s，

　　百级无尘车间若以HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率的话>50%。